さて、きょうも、流行のきざしがある 三次元マスクをニュースで見てみたよ。三次元マスクのことを、いくつか検索してみたら、こんな感じのスクープが流れているみたい。

レーザーテック、Ｖｉａの底面形状や開口径を正確・迅速に測定する貫通電極検査装置を発表 - 日本経済新聞 (プレスリリース)

レーザーテック、Ｖｉａの底面形状や開口径を正確・迅速に測定する貫通電極検査装置を発表 日本経済新聞 (プレスリリース) 現在、半導体デバイスのさらなる高密度、高速動作、低消費電力化を目指し、縦方向に回路を構築する３次元積層デバイスの実用化が進められています。貫通電極は、３次元積層において上下の回路を垂直に接続する重要な役割を果たします。貫通電極はエッチングで形成します ... and more »

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